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GB50809-2012:硅集成電路芯片工廠設計規范
GB50809-2012······11 總 則······112 術 語······123 工藝設計······143.1 一般規定······143.2 技術選擇
GB50809-2012······11 總 則······112 術 語······123 工藝設計······143.1 一般規定······143.2 技術選擇